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荷電粒子ビーム工学

荷電粒子ビーム工学

商品コード:X1009784339007343

  • 著者石川順三/著
  • 出版社名コロナ社
  • ページ数302P 21cm
  • ISBN978-4-339-00734-3

販売価格4,400円(税込)

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出版社商品紹介

材料プロセス技術として不可欠な電子ビーム、イオンビームの技術についてわかりやすく解説した。