ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の応用
商品コード：X1009784339046502
- 著者表面技術協会／編
- 出版社名コロナ社
- ページ数３０５Ｐ ２１ｃｍ
- ISBN978-4-339-04650-2
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「ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の基礎」の応用編。第１編「ドライプロセスの基盤技術」および第２編「ドライプロセスの応用」から構成され，研究現場や製造現場で的確にドライプロセスが実施できるよう工夫し解説した。