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プラズマ/プロセスの原理

プラズマ/プロセスの原理

商品コード:X1009784621082232

  • 著者Michael A.Lieberman/著 Allan J.Lichtenberg/著 堀勝/監修 佐藤久明/訳
  • 出版社名丸善
  • ページ数612P 26cm
  • ISBN978-4-621-08223-2

販売価格19,800円(税込)

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出版社商品紹介

プラズマとプラズマ・プロセスに関する解析方法を基礎から応用まで、原理的、解析的、系統的に解説。