はじめての薄膜作製技術
商品コード：X1009784627774520
- 著者草野英二／著
- 出版社名森北出版
- ページ数１６０Ｐ ２２ｃｍ
- ISBN978-4-627-77452-0
販売価格2,750円(税込)
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ＣＰＵやメモリなどの半導体からお菓子の袋や窓ガラスまで、薄膜作製技術は現代の生活に欠かせない重要な基盤技術となっています。しかし、その内容は未だに体系的に構築されておらず、現場技術者の経験と勘に頼ることが多くなっています。本書は、そのような薄膜デバイス作製の現場で使われている各種手法を、できるだけ学術的かつ体系的に理解できるようにくわしく説明しました。薄膜特有のナノレベルの物性や、薄膜作成に欠かせないプラズマ物理などが、わかりやすく説明されています。※本書は2006年3月に工業調査会から発行された初版に、加筆・訂正を加えて第2版として刊行したものです。