液浸リソグラフィのプロセスと材料 普及版
商品コード：X1009784781305509
- 著者東木達彦／監修
- シリーズ名エレクトロニクスシリーズ
- 出版社名シーエムシー出版
- ページ数２４３Ｐ ２６ｃｍ
- ISBN978-4-7813-0550-9
販売価格4,180円(税込)
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出版社コメント情報
2006年刊「液浸リソグラフィのプロセスと材料」の普及版。液浸リソグラフィに携わる露光装置、トラック、マスク、レジスト材料、シミュレーションなどについて、あらゆる角度から技術開発動向を取り上げています。